ロータリーベーン真空ポンプの動作原理

ロータリーベーン真空ポンプは、主に中小型の真空ポンプです。 ロータリーベーン式真空ポンプには、1 段ロータリーベーン式真空ポンプと 2 段式真空ポンプの 2 種類があります。 いわゆる二段ロータリベーン真空ポンプは、単段ポンプを2台直列に構造的に接続したものです。 一般的には、より高い真空度を得るために2段にします。

ロータリベーン式真空ポンプの排気速度と入口圧力の関係は次のように規定されています。入口圧力が 1333Pa、1.33Pa、1.33×10-1 (Pa) の場合、排気速度の値が低くなることはありません。ポンプの定格排気速度の 95% を超えています。 、50 パーセント、20 パーセント。

2 段ポンプ 直列に接続された 2 つの単段ポンプで構成されます。 作業中、ポンプで汲み上げられたガスは、最初にサクションシリンダーを通って高真空ステージに入ります。 吸入ガスの圧力が高い場合、ガスの一部は排気弁２によって排出され、ガスの残りの部分は低真空段階を経て排気弁１によって排出される。 吸入されたガスの圧力が低い場合、高真空段階で圧縮されますが、排気バルブ 2 を開いて排気することはできず、低真空段階を経て圧縮され続けてから排出されます。排気弁 1 は、2 段ポンプの限界真空比のためです。 単段ポンプの高さ。